日前，晶盛机电公司旗下晶弘精密与日本primet合资的绍兴普莱美特真空部件有限公司成立1周年之际，首批国产半导体真空阀产品六隔膜阀亮相4月，首批6个隔膜阀通过客户认证，实现量产这标志着隔膜阀国产化取得阶段性成果，为国内半导体真空市场提供更优质的产品，为打造半导体核心精密真空阀组件国产化基地迈出重要一步据报道，SMIC，七星流量计，美国应用材料，东京电子和其他国内外客户参加了会议
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